离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。 离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。这是一个关于活性 离子 微电子工艺的相关问题,下面我们来看 分类:慕课 题型:选择题 查看答案