题目内容：
通常掩膜氧化采用的工艺方法为
A.掺氯氧化
B.干氧
C.干氧-湿氧-干氧
D.低压氧化
参考答案：
选择题：通常掩膜氧化采用的工艺方法为：
- 题目分类：慕课
- 题目类型：选择题
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