选择题:在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中,哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层?

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题目内容:

在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中,哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层?

A.MBE

B.VPE.LPE

C.UHV/CVD

D.SEG.SPE

参考答案:

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