题目内容：
关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确
A.注入离子越轻，临界剂量越小；
B.靶温升高，临界剂量上升；
C.注入离子能量越高，临界剂量越低；
D.注入离子剂量率增大，临界剂量降低。
参考答案：
选择题：关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确：
- 题目分类：慕课
- 题目类型：选择题
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