题目内容：
在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是（）。当偏离晶向（）ψc注入时，可以避免。
A.沟道效应，<
B.沟道效应，>
C.横向效应，<
D.横向效应，>
参考答案：
选择题：在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是（）。当偏离晶向（）ψc注入时，可以避免。
- 题目分类：慕课
- 题目类型：选择题
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