选择题:从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?

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  • 题目类型:选择题
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题目内容:

从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?

A.靶放在面积小的电极上

B.靶放在面积大的电极上

C.衬底放在面积大的电极上

D.衬底放在面积小的电极上

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